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本技术公开了一种单工作台面运动平台及LDI曝光机,涉及激光直接成像设备技术领域。该运动平台,包括基座,所述基座上设置有运动控制系统,所述运动控制系统包括运动平台,所述运动平台上设置有一个工作台面,所述运动平台从上到下依次设有驱动所述工作台面...该专利属于杭州欣俊哲微纳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州欣俊哲微纳科技有限公司授权不得商用。
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