下载一种砷化镓半导体光导开关电极的制备方法的技术资料

文档序号:42044741

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本发明涉及一种砷化镓半导体光导开关电极的制备方法,包括以下步骤:(1)用划片机划取所需尺寸的晶片作为衬底;(2)清洗砷化镓表面;(3)在砷化镓一表面紧贴一层不锈钢金属掩膜架;(4)镀膜作为一个电极;(5)在砷化镓相对的另一表面紧贴一层不锈钢...
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