下载PECVD用石墨舟卡点及其安装方法的技术资料

文档序号:42027189

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本发明涉及一种PECVD用石墨舟卡点及其安装方法,属于太阳能电池制造的技术领域。它包括相互独立的第一不导电部件、导电部件和第二不导电部件;所述导电部件安装在石墨舟上,所述第一不导电部件和第二不导电部件对称安装在导电部件的两侧;所述第一不导电...
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