下载加工装置、及加工品的制造方法的技术资料

文档序号:41965562

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本发明抑制激光光对加工工作台的损伤,并且降低用于防止加工工作台的损伤的激光加工条件的制约,其包括:加工工作台2A、2B,在其中一个面2x设置有能够吸附加工对象物W的多个吸附孔2h、且能够表面背面反转;以及激光光照射部41A、41B,对吸附于...
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