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本发明公开了一种用于测试外延片膜厚的测试工装，涉及外延片膜厚技术领域，旨在解决外延膜厚度的问题，其技术方案要点是：包括底板、支持柱和支撑腿，支持柱固定安装在底板上侧，支撑腿固定安装在底板上侧，底板上侧固定安装有框架，支持柱和支撑腿之间设置有...
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