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本发明公开了一种片上互注入锥形相干阵激光阵列芯片结构及制备方法，从左至右包括：设置在同一外延结构上的片上布拉格反射光栅阵列、左脊波导阵列、片上集成n*Z<subgt;T</subgt;/2Talbot过滤腔、右脊波导阵列、泄漏槽...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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