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本发明涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及一种晶圆多轴联动控制系统，包括升降模块、横移模块、夹持翻面模块、控制面板、控制器模块和旋转电机，横移模块通过实施旋转电机设置在升降模块上，夹持翻面与横移模块连接，控制器模块与控制面板连接，升降模块、横移模...
该专利属于阿博索伯（苏州）自动化设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿博索伯（苏州）自动化设备科技有限公司授权不得商用。

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