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本发明提供了一种CVD外延设备石墨基座坐标及倾角调节装置及调节方法，属于半导体集成电路技术领域，包括工艺腔室、石墨基座、柔性连接机构以及调平机构，柔性连接机构包括锁紧螺柱、上连接法兰、球头铰接杆、球形法兰座和柔性密封管；调平机构设置于球形法...
该专利属于河北普兴电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北普兴电子科技股份有限公司授权不得商用。

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