下载一种提高激光器组件精确定位的装置的技术资料

文档序号:41919839

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本申请实施例公开了一种能使激光器组件精确定位的装置,用于激光直写设备,包括:控制模块、电磁铁、二极管和高频开关;一使能信号经过控制模块后,在高频开关控制下,通过PWM控制,对输送给电磁铁的高压直流电源进行调节,得到预压电流和启动电流:电磁铁...
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