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本发明实施例公开了一种晶圆加热装置。其包括机架、加热模块、储存模块、冷却模块以及移动模块，加热模块、冷却模块及移动模块设于机架内，储存模块设于机架的一侧。通过将加热模块、冷却模块及移动模块设于机架内，储存模块设于机架的一侧，移动模块取出晶圆...
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