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本发明公开了一种旋转干燥机转台位置确认装置，通过增加硅片取入位置传感器和硅片取出位置传感器，判定旋转干燥机转台位置是否准确。本发明还公开了一种旋转干燥机转台位置确认方法，使用简单的继电器结构组建逻辑电路对设备内部信号进行逻辑判断，实现旋转干...
该专利属于上海华虹ＮＥＣ电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹ＮＥＣ电子有限公司授权不得商用。

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