温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种套刻误差测量装置及方法，该装置包括载物台、物镜、第一分光镜、第一筒镜、用于扫描取图的TDI线扫相机、第二筒镜、用于点对点量测的面阵相机、处理器及载物台控制器，其中，第一分光镜、第一筒镜与TDI线扫相机沿物镜的光轴依次设置，第一...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。