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本技术公开了一种生产电子级高纯二氯二氢硅用的蒸馏设备,涉及蒸馏设备技术领域,本技术包括蒸馏箱,所述蒸馏箱的顶部固定连接有出气管,所述出气管远离蒸馏箱的一侧固定连接有集水管,所述蒸馏箱的顶部固定连接有电机,所述电机的底部输出端固定连接有转动杆...该专利属于沁阳国顺硅源光电气体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沁阳国顺硅源光电气体有限公司授权不得商用。
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