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本发明属于晶圆干燥技术领域，具体为一种排风装置及其使用方法；其中排风装置包括干燥加热箱，干燥加热箱的侧面上设有轴承，轴承上连接有旋转轴，旋转轴远离干燥加热箱的一端上安装有旋动方块，旋动方块上设置有旋距锁禁组件；所述旋转轴位于干燥加热箱内的一...
该专利属于沈阳芯达半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯达半导体设备有限公司授权不得商用。

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