下载一种半导体刻蚀设备阴极升降器的技术资料

文档序号:41742905

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本发明公开了一种半导体刻蚀设备阴极升降器,包括支撑架,所述支撑架顶部固定安装驱动架,所述驱动架内壁滑动连接升降组件,所述升降组件包括滑座,所述滑座底部转动连接辊轴仓,所述辊轴仓内壁转动连接辊轴,所述辊轴外壁绕卷钢丝绳,所述钢丝绳底端外壁固定...
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