下载三维存储器及其制造方法、以及存储器系统的技术资料

文档序号:41729502

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本申请提供了一种三维存储器及其制造方法,该三维存储器包括:堆叠层,位于半导体层上;存储沟道结构,穿过堆叠层,并包括第一沟道层;选择栅结构,位于堆叠层的背离半导体层的一侧;以及选择沟道结构,穿过选择栅结构,并包括由外向内设置的阻隔层和第二沟道...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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