专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中北大学
>
基于三向应变的薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法技术
>技术资料下载
下载基于三向应变的薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法的技术资料
文档序号:41699857
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法,该薄膜传感器包括:至少一个三向应变敏感单元;每个三向应变敏感单元包括三个应变栅,三个应变栅串联形成等边三角形;通过检测获得各应变栅的压降,基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和/或温度。...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。