下载一种二维材料场效应晶体管器件及其制备方法的技术资料

文档序号:41654154

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本发明公开了一种二维材料场效应晶体管器件及其制备方法。其中,所述方法包括:该器件栅介质层采用固态质子导体膜;该固态质子导体膜在电场影响下,产生H<supgt;+</supgt;质子。本发明通过制备固态质子导体作为栅介质,施加一个...
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