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本申请属于精密加工技术领域，尤其涉及复合抛光装置及方法，其中，复合抛光装置用于加工目标工件，包括三维运动系统、设于所述三维运动系统上的改性机构、抛光机构和振动机构，改性机构和抛光机构具有沿Z方向的行程，振动机构具有沿X方向和Y方向的行程，改...
该专利属于苏州优伽峰智能装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州优伽峰智能装备科技有限公司授权不得商用。

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