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本申请实施例提供了一种压力传感器及其制备方法、芯片。该压力传感器包括测量电容和参考电容。测量电容包括层叠的第一基底和第二基底，第一基底和第二基底围合形成真空的第一腔室；第一基底朝向第一腔室的一侧包括第一测量极板，第二基底朝向第一腔室的一侧包...
该专利属于北京京东方传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方传感技术有限公司授权不得商用。

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