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灰色调抗蚀剂及加工制造技术
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文档序号:41624491
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本文的公开涉及用于制造具有均匀或非均匀光栅深度的直的或倾斜的表面浮雕光栅的技术。根据某些实施方案,灰色调光刻胶包括酚醛清漆树脂、重氮萘醌(DNQ)溶解抑制剂以及一种或多种交联剂,该交联剂用于在升高的温度下使该酚醛清漆树脂交联、以提高灰色调光...
该专利属于元平台技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过元平台技术有限公司授权不得商用。
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