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本申请提供了一种纳米分辨扫描探针及其制作方法，涉及测量技术领域，包括探针基座、悬臂梁和探针针尖；所述探针基座临近于所述悬臂梁的第一端设置，所述探针针尖临近所述悬臂梁的第二端设置，所述第二端为所述悬臂梁的自由端；基于悬臂梁上对称设计的两个惠斯...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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