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本发明涉及离子注入机金属污染改善技术领域，公开了一种用于改善离子注入机金属污染的装置。本发明包括：机箱，所述机箱内设有围框，所述机箱内升降安装有盖板，所述盖板的底部安装有可翻转的源腔固定机构，所述盖板的底部安装有移动升降机构，所述移动升降机...
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