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本技术涉及一种晶圆ID视觉识别装置，包括视觉相机，用于识别晶圆ID；还包括底座；所述底座滑动设置有支撑杆及固定设置有驱动装置；所述驱动装置与所述支撑杆连接，驱动所述支撑杆左、右移动；所述支撑杆通过连接座和所述视觉相机连接。本技术具有结构简单...
该专利属于北京锐洁机器人科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京锐洁机器人科技有限公司授权不得商用。

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