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本发明提供一种封装结构的制备方法,在形成凸块下金属层之前,先对重新布线层中的金属线层进行刻蚀,使金属线层的表面低于介质层的表面,再利用光刻工艺在下凹的金属线层和介质层上形成凸块下金属层,使得凸块下金属层的表面具有凹陷的形貌,最后在凸块下金属...该专利属于盛合晶微半导体(江阴)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛合晶微半导体(江阴)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种封装结构的制备方法,在形成凸块下金属层之前,先对重新布线层中的金属线层进行刻蚀,使金属线层的表面低于介质层的表面,再利用光刻工艺在下凹的金属线层和介质层上形成凸块下金属层,使得凸块下金属层的表面具有凹陷的形貌,最后在凸块下金属...