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本发明公开了一种碳化硅热场体系及碳化硅晶锭生产工艺，碳化硅热场体系包括：坩埚盖；坩埚主体；导气板，导气板设于容纳空间内以限定出在上下方向上间隔开的第一放料区域和第二放料区域，第一放料区域适于铺设有第一碳化硅粉料层和第二碳化硅粉料层，第一碳化...
该专利属于江苏集芯先进材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集芯先进材料有限公司授权不得商用。

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