温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种3D传感器的制备方法和3D传感器，涉及传感器技术领域，该方法先对衬底进行切割或蚀刻形成均匀排布的三棱锥结构，然后在每个三棱锥结构的顶角边缘处开孔形成贯穿衬底的微孔，然后将均匀贴设有传感器芯片的胶膜对位放置在衬底上，再加热衬底...
该专利属于苏州矩阵光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矩阵光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。