下载一种含Cd低熔点合金旋转靶退绑的方法的技术资料

文档序号:41523760

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及旋转靶材分离回收领域,提供了一种含Cd的低熔点合金旋转靶材的退绑方法,针对低熔点的合金旋转靶材,特别是含有Cd的合金旋转靶材,实现了分离背管和靶材。不仅解决了低熔点旋转靶材退绑困难的问题,而且能安全退绑含Cd等对人体存在危害的旋转...
该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。