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本发明提供了一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法与抛光方法，所述抛光液包括如下组分：氧化剂、分散剂、第一磨料、第二磨料、pH调节剂和溶剂；所述第一磨料为青蒿素晶体；所述第二磨料包括二氧化铈、二氧化钛或二氧化硅中的任意一种或至少两种的组合...
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