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真空光学谐振腔的制备装置及制备方法制造方法及图纸
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文档序号:41506485
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提供了一种真空光学谐振腔的制备装置,光学谐振腔包括两个相对设置的第一镜体和第二镜体、以及位于中间位置的筒体,制备装置包括支架、密封壳体、驱动组件和真空泵。支架包括容纳部和夹持部,第一镜体安装于容纳部的底部,筒体放置于第一镜体上,夹持部从容纳...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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