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一种微反射镜阵列产生照明光瞳方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:41482902
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一种微反射镜阵列产生照明光瞳方法及装置,方法包括步骤:将目标光场转换为与微反射镜阵列中微反射镜数量相同的光斑,并提取光斑坐标;将光斑坐标与微反射镜的中心坐标一一对应,计算各微反射镜的X轴和Y轴偏转角度;控制各微反射镜旋转至其对应的偏转角度产...
该专利属于上海镭望光学科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海镭望光学科技有限公司授权不得商用。
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