下载一种微反射镜阵列产生照明光瞳方法及装置的技术资料

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一种微反射镜阵列产生照明光瞳方法及装置,方法包括步骤:将目标光场转换为与微反射镜阵列中微反射镜数量相同的光斑,并提取光斑坐标;将光斑坐标与微反射镜的中心坐标一一对应,计算各微反射镜的X轴和Y轴偏转角度;控制各微反射镜旋转至其对应的偏转角度产...
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