温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种动态测量高精度硅谐振气压计，包括硅谐振压力芯体，驱动调理电路，主控采集处理电路，气压缓冲腔及设备密封腔体。MEMS压力传感器采用硅硅键合技术，贴装工艺方式相对常规采用玻璃封接键合减小封装应力，提高工作时谐振频率稳定性、同时对...
该专利属于江苏无线电厂有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏无线电厂有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。