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本发明公开了基于纳米粒子的芯片刻蚀清洗液内循环控制系统及方法，属于芯片制造技术领域。解决了现有技术中芯片刻蚀清洗液的使用效率低、成本高、污染大的技术问题。本发明的技术方案是：在含有纳米粒子的刻蚀清洗液中，设置一个控制器，用于控制刻蚀清洗液的...
该专利属于威海奥牧智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威海奥牧智能科技有限公司授权不得商用。

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