下载一种半导体用晶圆抛光设备的技术资料

文档序号:41442303

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种半导体用晶圆抛光设备,涉及晶圆抛光技术领域,包括主体,所述主体的顶部设置有支撑组件,所述支撑组件包括底板,所述底板固定安装在主体的顶部,所述底板的顶部固定安装有框架,所述框架的内部固定安装有电动升降杆,所述电动升降杆的顶端固...
该专利属于江西省东都智能装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西省东都智能装备科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。