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本技术公开了一种半导体废气处理设备一体式加热棒，包括装置本体，所述装置本体包括加热棒、温度传感器、转动固定块和顶部电源连接器，所述温度传感器安装在加热棒顶部，所述转动固定块安装在温度传感器顶部，所述顶部电源连接器安装在转动固定块顶部；所述温...
该专利属于上海高笙集成电路设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海高笙集成电路设备有限公司授权不得商用。

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