下载真空控制单元的技术资料

文档序号:41418574

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本发明涉及一种在真空输送系统中根据多个真空泵的各内部压力条件来输出输送对象物的操作信号的真空控制单元。该控制单元包括:多个个别地对应各真空泵的模块被紧贴形成的模块堆;以及设置在所述堆的一侧并与各模块进行信号连接的控制部。各模块包括:用于感应...
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