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真空控制单元制造技术
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文档序号:41418574
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本发明涉及一种在真空输送系统中根据多个真空泵的各内部压力条件来输出输送对象物的操作信号的真空控制单元。该控制单元包括:多个个别地对应各真空泵的模块被紧贴形成的模块堆;以及设置在所述堆的一侧并与各模块进行信号连接的控制部。各模块包括:用于感应...
该专利属于维泰克株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过维泰克株式会社授权不得商用。
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