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本技术提供一种清洗装置，包括夹持部件、检测部件和背面清洗部件，夹持部件用于对晶圆进行夹持，检测部件设置在夹持部件上，用于对夹持部件夹持的晶圆的背面的污染状态进行检测，背面清洗部件设置在夹持部件上，用于对夹持部件夹持的晶圆的背面进行清洗。本技...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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