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本公开涉及用于在衬底的第一表面上相对于同一衬底的第二表面选择性地沉积包含硅和氮的材料的方法和沉积组件。在本公开中，经由以下步骤通过循环沉积过程在衬底的第一表面上相对于同一衬底的第二表面选择性地沉积包含硅和氮的材料：在反应室中提供衬底；以气相...
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