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一种用于光学显微成像的无像差激光点扫描设备制造技术
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下载一种用于光学显微成像的无像差激光点扫描设备的技术资料
文档序号:41402301
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本技术提供一种用于光学显微成像的无像差激光点扫描设备,包括沿光束传播方向依次设置的共振振镜、第一凹面镜、第二凹面镜、X轴检流计扫描镜、第三凹面镜、第四凹面镜、Y轴检流计扫描镜。现有的激光点扫描设备一般使用透镜作为扫描镜之间的光学中继元件,不...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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