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本发明涉及用于半导体设备的系统和装置。本技术的各种实施例可以提供一种在反应室内使用的装置。该装置包括具有通孔的基座板，升降销可以设置在通孔中。此外，基座可以包括静电夹持功能。基座还可以包括金属互连，该金属互连通过钎焊材料电连接到其他金属互连...
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