下载一种刮刀涂布气氛调节装置的技术资料

文档序号:41396640

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本发明公开了一种刮刀涂布气氛调节装置,包括底部支撑结构、吸气结构、注气结构和顶部盖板结构;所述底部支撑结构为上开口的矩形箱体结构,矩形箱体内部安装刮涂机。由于本发明控制了注气口内侧边缘和基片之间的距离与注气气孔宽度的关系,避免了由于距离过近...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。

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