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半导体结构及其制备方法技术
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文档序号:41390960
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本申请涉及一种半导体结构及其制备方法,半导体结构,包括:基底,具有存储区以及周边电路区,周边电路区包括第一区域与第二区域;栅极结构,位于第一区域的基底上以及第二区域的基底上;第一侧墙结构,位于栅极结构的侧壁;第二侧墙结构,位于第一侧墙结构的...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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