下载半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:41390960

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种半导体结构及其制备方法,半导体结构,包括:基底,具有存储区以及周边电路区,周边电路区包括第一区域与第二区域;栅极结构,位于第一区域的基底上以及第二区域的基底上;第一侧墙结构,位于栅极结构的侧壁;第二侧墙结构,位于第一侧墙结构的...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。