温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种压电晶体管，其包括诸如半导体衬底之类的衬底。衬底可包括空腔，并且该空腔可被向下蚀刻。压电晶体管可包括以悬臂形式形成在半导体衬底上方的压电材料，并且其可向上和／或向下弹性应变。压电晶体管可包括通过压电效应来电连接至压电材料的金...
该专利属于东部高科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东部高科股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。