下载可控硅芯片制作方法及可控硅芯片的技术资料

文档序号:41385266

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本申请提供一种可控硅芯片制作方法及可控硅芯片,涉及半导体技术领域。所述方法包括:提供一包括第一表面和第二表面的硅片;在第一表面及第二表面蒸发金属,形成第一金属层及第二金属层;根据第一金属层及第二金属层对硅片进行预扩散,在硅片内部形成第一预扩...
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