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本发明公开了一种台式化高亮度等离子体光源，包括激光组件、真空组件、靶物质、用于对靶物质提供磁场区的磁场组件以及用于对靶物质所处磁场区进行供气的充气组件，靶物质和磁场组件设置于真空组件中，激光组件发射的激光照射在靶物质上生成等离子而发光；该等...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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