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公开了一种低发散角型VCSEL激光器及其制造方法和VCSEL阵列。所述低发散角型VCSEL激光器包括：VCSEL主体、VCSEL阳极和VCSEL阴极；所述VCSEL主体包括：衬底层、底部镜部分、顶部镜部分、有源区、主限制层和电极接触层；所述...
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