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本发明公开了一种基于二次谐波的表征设备，包括：导轨；入射组件和出射组件，活动连接至导轨；基波发射组件，连接在入射组件的入口侧；二次谐波接收组件，连接在出射组件的出口侧；样品台；探针组件，设置在样品台上；电学表征组件，电连接探针组件；在表征设...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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