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本发明提供了一种辉光微放电装置，涉及等离子技术领域，所述辉光微放电装置包括：电源组件；阳极和阴极，所述阳极与所述电源组件的正极相连，所述阴极与所述电源组件的负极相连，所述阳极和所述阴极对应设置且二者之间设有间距，以使得所述阳极和所述阴极之间...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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