下载一种电子束加工可移动载台的技术资料

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本技术涉及高能束表面改性技术领域,尤其涉及一种电子束加工可移动载台,包括底座,底座的上方设有安装座,底座上方设有X轴移动机构;安装座的上方设有两平行设置的支撑梁,支撑梁分别通过弹性调节机构与安装座固定连接;两个支撑梁之间设有Y轴移动机构,Y...
该专利属于桂林电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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