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一种基底加工设备包括：热处理室，提供用于对基底进行热处理的热处理空间；冷却室，布置为在水平方向上与热处理室间隔开；以及盖，密封热处理室和冷却室，其中，冷却室包括：壳体，在所述壳体中限定冷却处理空间；冷却板，在所述冷却板上放置基底；第一载入/...
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